上海科技大学在AlN及AlScN PMUT器件开发与应用领域取得多项研究成果

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近年来，随着先进压电材料、集成电路、微纳声学等领域的飞速发展，基于氮化铝（AlN）和氮化铝钪（AlScN）薄膜的压电微机电系统（MEMS）以其低成本、小体积和高性能而受到广泛关注。上海科技大学信息学院吴涛教授与多位上科大教授合作在压电式微机械超声换能器( Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers, PMUT)器件的理论建模、器件设计、微纳工艺、以及医学应用等方面取得了多项研究成果。 1 氮化铝及氮化铝钪PMUT的工艺研发 氮化铝薄膜具有生物兼容性好、热稳定性高和集成电路工艺(Complementary metal–oxide–semiconductor, CMOS)兼容等优点，是可植入设备和医用传感应用领域的首选压电材料之一。氮化铝钪通过稀土元素掺杂改性，其压电常数d31较氮化铝薄膜提升2倍以上。 吴涛团队通过对氮化铝钪溅射工艺的优化，成功地制备出不同浓度的高质量、 ………………………………