前沿工程讲堂｜第37讲：高成臣教授主讲“MEMS传感器研究工作简介”

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2024年9月7日晚，“前沿工程讲堂”第37讲在哲学楼101教室举行。北京大学集成电路学院教授级高级工程师、“国家卓越工程师”称号获得者高成臣讲授“MEMS传感器研究工作简介”专题课程。 高成臣教授主讲“前沿工程讲堂” 高成臣教授首先介绍了“MEMS”和“传感器”的基本概念。MEMS即微机电系统，是指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置，其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统。传感器是能感受到被测量的信息，并将这些信息按一定规律变换成为电信号或其他所需形式的信息输出，以满足信息的传输、处理、存储、显示、记录和控制等要求的检测元件或装置。传感器具有微型化、数字化、智能化、多功能化、系统化、网络化等特点，是实现自动检测和自动控制的首要环节。 随后，高成臣教授介绍了自己的工作经历和研究 ………………………………