麦锴科技：面向激光光束扫描的压电MEMS微镜

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据麦姆斯咨询报道，2024年9月11日至12日，上海麦锴科技有限公司（简称：麦锴科技）将参加 『第37届“微言大义”研讨会：激光雷达及3D传感技术』 并发表主题演讲，具体信息如下： 演讲主题： 面向激光光束扫描的压电MEMS微镜 演讲嘉宾： 上海麦锴科技有限公司 CTO 王栎皓 嘉宾简介： 王栎皓，博士，上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室助理研究员，研究方向为先进微纳制造工艺以及MEMS光学器件与微系统，现任上海麦锴科技有限公司技术总监。在MEMS器件设计及工艺、接口电子电路、传感器微系统等方面具有丰富经验。开发了MEMS快速反射镜、MEMS微振镜、CMOS-MEMS单片集成生化传感器、SPM探针等多款MEMS器件。 演讲摘要： 微镜（MEMS Mirror）属于光学与MEMS的交叉技术，是指在硅上制造出特殊镜面，利用硅的弹性，通过控制悬梁臂的位移 ………………………………