直拉单晶熔体中的对流形式

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在晶体生长阶段，单晶硅锭和坩埚均以大小固定但方向相反的转速旋转，为 了保持熔体中热场的稳定性，通常选取的坩埚旋转速度都要比晶体旋转速度小。当熔体中形成相对稳定的对流时，主要存在由机械转动引起的强迫对流和熔体中温度梯度差与浓度差引起的自然对流。具体概括起来，主要有以下五种形式的对流： ①温度梯度差引起的浮力自然对流 此对流的驱动力为浮力，即浸在液体或气体里的物体受到液 体或气体对物体向上的和向下的压力差。在单晶硅生长阶段，坩埚内熔体外侧下方距离加热器最近，温度最高，熔体与晶体交界面温度接近单晶硅熔点，温度最低，故在整个熔体中，温度大致呈现从外侧下方到中心上方逐渐降低的趋势。取熔体中小单元体分析，由于单元体上下表面因为温度梯度引起的浮力的压力差，使小单元体向压力小的方 ………………………………