上海工研院成功量产多款基于MEMS微纳加工技术的生物芯片

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SITRI 研发中试线 工艺研发 中试流片 基于微机电系统（MEMS）微纳加工技术的生物芯片（Bio-Chip）属于生物医学与集成电路的交叉融合创新领域，可以实现器件和系统的微型化，能显著提升生物医学的诊断和治疗能力，具有自动化、高通量、更快捷和损伤更小等优点。纳米孔基因测序芯片是生物芯片的重要应用之一，作为纳米孔测序仪的核心检测单元，在基因测序的速度、精度、成本和便携性等方面具有明显优势。作为“超越摩尔”集成电路核心工艺部署方向之一，上海工研院于2016年开始研发生物芯片技术，目前已建成相对完整及成熟的研发和中试工艺平台。 截止目前，上海工研院已为众多客户，包括行业头部企业在内的客户提供纳米孔基因测序芯片的研发和中试服务。上海工研院已成功开发多套纳米孔工艺PDK，包括纳米孔工艺A、纳米孔工艺B等（ ………………………………