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微系统集成传感、通信、处理、执行和微能源等多种功能单元,被认为是21世纪的革命性技术之一。伴随着技术进步与人型机器人、无人机、6G通讯技术等新兴产业的涌现,微系统需实现更低功耗与更长寿命(甚至是全寿命)。面对这些需求,基于半导体和MEMS的传统微系统存在技术瓶颈,而具有极低摩擦和磨损特性的超滑技术为此提供了新机遇。 超滑微系统定义为集成了多种功能及超滑组件的微小型系统。结构超滑是指两个接触固体表面间相对滑移时零磨损和近零摩擦的状态,这一具有原理性创新的根技术是实现超滑微系统的关键途径 [1]。自2002以来, 郑泉水团队 致力于探索结构超滑原理,发展超滑发电机、超滑微电机、超滑射频开关等超滑微系统技术。微系统在执行功能时受到载荷、环境等条件约束,因此结构超滑状态的稳健性是一个值得关注
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