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开发具有足够功率的氮化镓铝深紫外(UVC)微型发光二极管(micro-LED)一直是一项挑战,这尤其限制了这些设备的各种应用。不过,先进的制造工艺已经开发出来,能够展示高效的270纳米UVC微型发光二极管和具有高分辨率的大尺寸UVC微型发光二极管显示器,适用于无掩模光刻技术。 为了评估这些新兴器件, 南方科技大学 刘召军研究员 团队 对 尺寸从3 μm到100 μm的UVC微型LED进行了光学和电学表征 。 3 μm器件的峰值外部量子效率达到了创纪录的5.7%,最大亮度为396 Wcm -2 。此外,每英寸2540像素平行连接的UVC微型LED阵列具有后侧反射层,显示出发射均匀性和准直性。 UVC微型LED显示屏的分辨率为320×140 ,是专为无掩模光刻应用而设计的, 利用定制的集成电路驱动器实现了最佳性能 。由于UVC微型LED和UVC微型显示器具有更强的电流传播均匀性、更好的热分
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