论电镜（TEM/SEM）中的辐照损伤

文章预览

电子显微镜（ TEM 和 SEM ）作为现代材料表征的重要工具，其电子束与样品的相互作用不仅提供了丰富的信息，同时也可能对样品造成不可忽视的损伤。这些损伤效应主要源于两类电子散射机制： 弹性散射和非弹性散射 。 弹性散射主要发生在入射电子与原子核之间，虽然能够产生有价值的衍射图案和背散射电子信号，但可能引起 晶格原子位移或表面溅射 。非弹性散射则涉及入射电子与原子外层电子的相互作用，这种作用不仅产生二次电子、特征 X 射线等有用信号，还可能导致样品发生 辐射分解 ，甚至在某些情况下引起 碳氢化合物污染 。 传统观点认为 辐射损伤与累积剂量和沉积能量呈正相关 。然而，最新研究结果对这一认识提出了挑战，这表明我们对电子束损伤机理的理解仍有待深入，需要通过更多实验研究来揭示其复杂本质，这不仅有助于 ………………………………