北京工业大学ACS Nano！晶圆级VO₂薄膜“任意贴”！低温相变，柔性可调，多功能光电器件集成新方案！

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材料研究进展 — 聚焦材料科学研究前沿，洞察材料研究最新进展。100多万材料专业领域硕博教师们订阅的微信大号。点击标题下蓝字“ 材料研究进展 ”关注，我们将为您提供有价值、最前沿的材料研究进展资讯。 1 研究背景 随着现代电子设备向更高灵活性、可穿戴性和多功能性发展，对制造和操作温度提出了更高要求。金属氧化物薄膜因其在电子器件中的多种应用而备受关注，尤其是二氧化钒（VO2）因其在68°C附近的金属-绝缘体转变（MIT）而成为研究热点。VO2的这种特性使其在自适应热管理设备、太赫兹调制器、微执行器和神经突触设备等领域具有重要应用价值。然而，VO2薄膜通常需要在450°C以上的氧气氛围中生长，并且在MIT温度下才能发挥作用，这限制了其在柔性基底等电子器件中的应用。尽管一些低温生长方法已经被开发出来，但制备的VO ………………………………