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1 什么是二次配工程(Hook-up)? 以工艺设备机台为对象,按其UT需求, 在合理时间内,按特定的技术规格要求,将动力各个主系统连接到各个工艺机台,并保证机台长期持续正常运作。 UT种类包括:电、排风 、工艺冷却水、自来水、真空管、泵管、纯水、化学品、废水、大宗气体、特殊气体等。(power、foundation、EXH、PCW、CW、PV 、 PUMPLINE、UPW、CHEMICAL、DRAIN、BULK GAS、Special gas)。 2 二次配流程 详细流程如下图所示。 3 各系统HOOK-UP管材 序号 系统 配 管 材 质 1 CDA SUS304BA 2 制冷系统冷却水(CHWS(R)) 无缝钢管 3 工艺冷却水PCW SUS304 4 纯水UPW CLEAN-PVC,PPH 5 氮气N2 SUS316BA 6 氩气Ar SUS316BA 7 氩氧混合气(85%氩气,15%氧气) SUS316BA 8 一般排气(GEX) 镀锌钢板 9 酸类排气(SEX) PVC 10 碱类排气(AEX) PVC 11 有机排气(VEX) SUS304 12 回收水(回收后作为制造纯水的水源)
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