从入门到精通｜EELS技术超详解：结构解析+工作原理+材料表征实战指南

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1.引言 随着纳米科学技术的发展与进步，科学家们对固体物质的原子层面的理解更加迫切，这大大促进了具有高空间分辨率的衍射和光谱学的研究发展。 其中，作为材料表面形貌分析必不可少的测试手段，透射电子显微镜 (TEM) 具有无与伦比的实用价值，因为它可以通过TEM图像和电子衍射来提供具有高空间分辨率的结构信息，在此基础上，通过联合使用电子能量损失谱(Electron Energy Loss Spectroscopy ，EELS)则可以获得样品的化学信息，从而进行定性定量分析。 1.1 EELS的发展历史 EELS是物理学及材料科学等研究领域的重要表征手段，该技术始于十九世纪初期。 1929年，Rudberg发现利用一特定能量的电子束施加在欲测量的金属样品上，然后接受非弹性（有能量损失）的电子，发现会随着样品化学成分的不同而有不同的损失能量，因此可以分析不同的能量损失位 ………………………………