微区成分分析，没有它真的寸步难行....

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除了材料的体相成分信息外，许多研究会关注材料表面深度约1 μm以内的微区结构和成分信息。目前 微区成分分析 技术种类繁多，大多是用能汇聚成微米的射线与样品相互作用，再探测体积内激发出射线的能量（或质量）和强度来进行成分分析的。为此，笔者在本文中介绍了四种常见的微区成分分析技术，其中包括 E DS 、X PS 、X RF 和T OF-SIMS ，并就各自技术的基本原理、测试对象和技术特点进行了总结，以供大家在做测试时进行参考。 1. 能谱仪（EDS）   1.1  工作原理 EDS（Energy dispersive spectroscopy）是用来分析材料微区成分的元素种类与含量的最常用仪器之一，一般配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜进行使用。在真空室下用电子束轰击样品表面时，可以激发物质发射出特征X射线，根据特征X射线的波长，可定性与半定量分析元素周期表中B-U的元 ………………………………